Is-sintesi tan-nitrurat tas-silikon ġiet irrappurtata l-ewwel fl-1857 minn Henri Edouard Saint-Clair DeVille u Friedrich Wöhler. Fis-sintesi tagħhom, griġjol bis-silikon tqiegħed fi griġjol mimli bil-karbonju u msaħħan biex tnaqqas il-penetrazzjoni tal-ossiġnu. Huma rrappurtaw prodott li huma sejħu nitride tas-silikon, iżda ma setgħux jiddeterminaw il-kompożizzjoni kimika tiegħu.
Fl-1879, Paul Schützenberger kiseb il-prodott billi jsaħħan is-silikon imħallat ma 'materjal ta' inforra (pejst li jista 'jintuża bħala inforra tal-griġjol miksuba billi tħallat faħam tal-kannol, brametti tal-faħam, jew kokk ma' tafal) f'forn blast u rrapportah bħala kompost ma 'Si3N4. Fl-1910, Ludwig Weiss u Theodor Engelhardt ipproduċew Si3N4 billi jsaħħnu s-silikon elementali fin-nitroġenu pur. Fl-1925, Friedrich u Sittig sintetizzaw in-nitride tas-silikon billi jsaħħnu d-dijossidu tas-silikon u l-karbonju f'atmosfera tan-nitroġenu għal {1250-1300 grad bl-użu ta 'tnaqqis termali tal-karbonju.
